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奥林巴斯OLS4100对透明样品的透明层及基底进行观察和测量
  • 发布日期:2017-08-24      浏览次数:1027
    • 硅片或玻璃基底上覆有一层透明薄膜,LEXT OLS4100可透过薄膜观测基底的表面形貌

      硅片基底光刻表面形貌测试图

       

      LEXT OLS4100全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样既可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和测量。

      透明样品内层表面形貌观察和测量

      多层模式功能,可以分析透明体层,它可以测量透明层下的几何形状和表面粗糙度和膜层的厚度,即使样品涂有塑料的玻璃基板。

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