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工业共聚焦显微镜

产品时间:2019-10-08

简要描述:

工业共聚焦显微镜采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统(能Z大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

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工业共聚焦显微镜采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统(能zui大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

作为表面粗糙度测量的新标准,奥林巴斯开发了LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离zui长为100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数,因此具有相互兼容的操作性和测量结果。

截面曲线 Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
粗糙度曲线 Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
波动曲线 Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
负荷曲线 Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
基本图形 R, Rx, AR, W, , AW, Wte
粗糙度 (JIS1994) Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
其他 R3z, P3z, PeakCount

适应下一代参数
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度(3D)参数。通过评估平面区域,可以进行高可靠性的分析。

振幅参数 Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
功能参数 Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
体积参数 Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
横向参数 Sal, Str

• LEXT OLS4100 与表面粗糙度测量仪的结果相兼容。 
surface roughness gauge

微细粗糙度

Micro Roughness1
Micro Roughness2

使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比探针的针尖直径更细微的表面轮廓。而OLS4100 有着微小的激光光斑直径,所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。

非接触式测量

使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时,样品容易受到探针损伤而变形。另外,带有粘性的样品会粘在探针上,无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜OLS4100,不会影响样品的表面状态,可以准确的测量样品 
的表面粗糙度。

Soft Specimen
柔软的样品
Adhesive Specimen
带有粘性的样品

Polymer Film 3D image
高分子薄膜3D 影像(上)和粗糙度测量结果(左)

 

Results of Roughness Measurement

工业共聚焦显微镜主机
LSM 部分 光源、检出系统 光源:405 nm 半导体激光 
检出系统:光电倍增管
总倍率 108x ~ 17,280x
变焦 光学变焦1x ~ 8x
测量 平面测量 重复性 00x: 3σn-1=0.02 µm
正确性 测量值的±2%以内
高度测量 方式 物镜转换器上下驱动方式
行程 10 mm
内置比例尺 0.8 nm 
移动分辨率 10 nm
显示分辨率 1 nm 
重复性 50x: σn-1=0.012 μm
正确性 0.2 + L/100 μm 以下(L=测量长度μm)
彩色观察部分 光源、检查系统 光源:白色LED, 
检查系统:1/1.8 英寸200 万像素单片CCD
变焦 数码变焦1x ~ 8x
物镜转换器 6 孔电动物镜转换器
微分干涉单元 微分干涉滑片:U-DICR, 
内置偏振光片单元
物镜 明视场平面半消色差透镜5x、10x 
LEXT 专用平面复消色差透镜20x、50x、100x
Z 对焦部分行程 100 mm 
XY 载物台 100×100 mm(电动载物台), 
选件: 300×300 mm(电动载物台)

为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。

物镜
型号 倍率 视场 工作距离(WD) 数值孔径(N/A)
MPLFLN5X 108x-864x 2,560-320 μm 20.0 mm 0.15
MPLFLN10X 216x-1,728x 1,280-160 μm 11.0 mm 0.30
MPLAPON20XLEXT 432x-3,456x 640-80 μm 1.0 mm 0.60
MPLAPON50XLEXT 1,080x-8,640x 256-32 μm 0.35 mm 0.95
MPLAPON100XLEXT 2,160x-17,280x 128-16 μm 0.35 mm 0.95

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