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激光共聚焦显微镜

产品时间:2019-10-08

简要描述:

激光共聚焦显微镜OLS5000可观察纳米范围的台阶,并可测量亚微米级别的高度差。还可以测量从线到面的表面粗糙度。配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

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激光共聚焦显微镜OLS5000 有4大关键价值:

  • 捕捉任意表面形状。
  • 快速获得可靠数据。
  • 使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。
  • 测量具有挑战性的样品。

价值1:捕捉任意表面形状。

   

OLS5000显微镜的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。

价值2、快速获得可靠数据

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,zui终实现生产力的提升。

价值3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可

LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。

价值4、可测量具有挑战性的样品

低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。

激光共聚焦显微镜OLS5000获取彩色信息
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

OLS5000405纳米激光光源

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓越的横向分辨率。

OLS5000激光共焦光学系统

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像

OLS5000 X-Y扫描仪

OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描。

OLS5000高度测量原理

在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。

OLS5000主机规格:

型号 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
总倍率 54x - 17,280x
视场直径 16 μm - 5,120 μm
测量原理 光学系统 反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜
彩色
彩色DIC
光接收元件 激光:光电倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相机
高度测量 显示分辨率 0.5 纳米
动态范围 16 位
可重复性 n-1 *1 *2 *6 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
精度 *1 *3 *6 测量值 /- 1.5%
拼接图像精度 *1 *4 *6 20x : 15 0.5L μm, 50x : 9 0.5L μm, 100x : 7 0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *6 1 纳米
宽度测量 显示分辨率 1 纳米
可重复性 3 n-1 *1 *6 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
精度 *1 *3 *6 测量值 /- 1.5%
拼接图像精度 *1 *3 *6 20x : 15 0.5L μm, 50x : 9 0.5L μm, 100x : 7 0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
单次测量时测量点的zui大数量 4096 x 4096 像素
测量点的zui大数量 3600 万像素
XY 载物台配置 长度测量模块
工作范围 100 x 100 mm 电动

100 x 100 mm 手动

300 x 300 mm 电动 100 x 100 mm 电动 100 x 100 mm 手动
zui大样品高度 100 mm 30 mm 30 mm 210 mm 140 mm
激光光源 波长 405 nm  
zui大输出 0.95 mW  
激光分类 2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)  
彩色光源 白光 LED
电气功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
质量 显微镜主体 约 31 公斤 约 30 公斤 约 50 公斤 约 43 公斤 约 39 公斤
控制器 约 12 公斤

 

 

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