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研究级激光共焦显微镜

产品时间:2019-08-19

简要描述:

材料LEXT4000科研级激光共焦显微镜

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 LEXT4000研究级激光共焦显微镜总评:
    LEXT 4000备有常规显微镜的功能,并有BF,DF,DIC等多种观察方法。它以405nm短波长半导体激光为光源,通过显微镜内高精度扫描装置对样品表面的二维扫描,获得水平分辨率高达0.12μm的表面显微图像,通过显微镜高精度步进马达驱动和5nm光栅控制的聚焦装置,运用共聚焦技术(Confocal),逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标。经计算机处理,将各个焦平面的显微图象叠加,获得样品表面的三维真实形态(近似SEM扫描电镜的Morphologic图像,将采样数据运算后,可获得亚微米级的线宽,面积,体积,台阶,线与面粗糙度,透明膜厚,几何参数等测量数据。可作为高精度测量设备,符合国际计量追溯体系(ISO)。附加金相插件,可做金相分析。                      


LEXT4000研究级激光共焦显微镜精益求精的测量性能

1> 轻松检测尖锐角

        采用了有着高N.A. 的专用物镜,和能zui大限度发挥405 nm 激光性能的专用光学系统,LEXT OLS4000可以精确的测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。

       

2> 克服反射率的差异

        LEXT OLS4000 采用了新开发的双共焦系统。由于配置了2 个共焦光学系统,那些一直以来使用激光显微镜难以测量的、含有不同反射率材料的样品,也能在LEXT OLS4000上获得鲜明的影像。 

 

3> 稳定的测量环境

        为了排除来自外部的影响,稳定测量,LEXT OLS4000 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡皮组成的“混合减震机构”。所以,可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子进行测量作业,不需要专用的防震平台。

4> 更加真实的再现微小凸凹

        微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小凹凸的观察方法。LEXT OLS4000 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜,将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差,生成明暗对比,从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉观察,即使是低倍率的动态观察,也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。

   

4> 对应大范围观察

        在高倍率影像观察中,视场范围会变窄。LEXT OLS4000 搭载了缝合功能,zui多可拼接500 幅影像,从而能得到高分辨率和大视场范围的影像数据。不仅如此,LEXT OLS4000 还能对该大视场影像进行3D 显示和3D 计测。

卓越的粗糙度分析能力

1> 将激光纳入表面粗糙度测量仪的标准中

        作为表面粗糙度测量仪的新标准,奥林巴斯开发了LEXT OLS4000。对LEXT OLS4000 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在LEXT OLS4000上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离zui长为100 mm 的粗糙度。

 

OLS4000与接触式表面粗糙度测量仪的测量截面曲线比较(截面全长1.6 mm)

参数一览

      

       LEXT OLS4000 轮廓曲线参数一览

      

       LEXT OLS4000 表面粗糙度测量参数一览(符合ISO25178 草案)


2> 微细粗糙度 

      

       接触式表面粗糙度测量仪

       

       激光显微镜

3> 非接触

      

       柔软的样品

      

       带有粘性的样品

4> 微细处测量

        使用接触式表面粗糙度测量仪,其触针无法进入微小领域,所以不能对微小领域进行测量。而激光显微镜可以正确定位,能轻松测量出特定微小领域的粗糙度。

      

LEXT4000规格
 

光学系统 UIS2光学系统(无限远校正)
总倍率 108x~17280x
观察视场 2560x2560~16x16 µm
机 身      观察方法     明视场/微分干涉/激光/激光微分干涉
      激光     405 nm 半导体激光
  白色照明     白色LED照明
  对焦单元 粗调Z轴载物台 划动 100 mm
      zui大样本高度 100 mm
    细调Z轴物镜转换器 测量划动 10 mm
      驱动分辨率 0.01 µm
      重复性 σn-1=0.012 µm
    物镜   5x, 10x, 20x, 50x, 100x
    光学变焦   1x~8x
载物台 100x100 mm
外形尺寸 276(W)x358(D)x405(H) mm
 

     

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