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自动化半导体检查显微镜

产品时间:2017-07-11

简要描述:

显微镜观察所需操作基本电动化,极大提高工作效率

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总评
        奥林巴斯半导体自动检查显微镜MX61A支持300mm硅晶圆检查及分析。实现了显微镜观察中所需操作的自动化及电动化,具有使用1台显微镜即可进行检查及分析的灵活性和扩展性。MX61A采用的UIS 2万能无限远光学系统,提高了缺陷检测能力。高品质的UIS 2物镜实现忠实的色彩再现,暗视野观察时的亮度也提高至该公司原产品的4倍左右。通过采用新方式的自动对焦;(AF)实现了检查及分析作业的效率化。配备有与物镜的倍率指定和观察方法切换产生联动的、用于调节出zui佳亮度及对比度的自动调光功能。此外,AF方面采用了对焦精度及速度更出色的多点对焦方式,从而提高了对焦时的稳定性。具有电动载物台、数码相机及深紫外线观察系统等多种扩展性系统配置。

对应检查需求的搭配组合

        灵活地应对不断变化的检查需求,这就是检查引擎(Inspection-Engine)。
        作为核心对MX61A系统全体进行控制的是操作单元。预先设置的观察条件可由操作员(观察者)随时调用,也可以多人共享。可以选择适应了使用环境的菜单的操作单元和对应各种观察方法的自动对焦单元,提供了更高水准的检查环境。
        

                                               操作单元“OPERATOR(操作员)”操作画面

适应使用环境、可以分开使用的操作单元

        操作单元备有三个操作画面,观察者高效率的操作显微镜。

    ·   网罗观察的基本操作的“OPERATOR(操作员)”画面 
    ·   更高级操作的“ENGINEER(工程师)”画面
    ·   zui多可设置六个观察条件,可随时调用复杂条件设置的“FUNCTION(功能)”画面

设置zui合适的观察条件

        与物镜选择、观察方法切换连动的亮度光圈(AS),以及物镜之间的同一焦点校正、DIC延迟调节等均可通过操作单元触摸面板进行设置。操作单元有三个“USER(用户)”设置,可由多位操作员(观察者)共享。

可以触摸屏操作的手控开关
        配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的zui合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。

强大的缺陷检查能力

        采用了新颖的光学系统(UIS2),特别增强了明视场、暗视场的性能,从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温zui佳化,实现了容易误检的中性颜色的再现,暗视场图像的亮度约提高了四倍(与本公司原有产品比较)。

自动调节zui佳亮度

        物镜选择和观察方法切换连动,自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。

       

抑制影像中心偏移的UIS2物镜

        在观察视场狭窄的数码影像中,为了不让观察对象偏离视场,高倍率物镜的偏心精度提高了2倍。极大地减少了切换物镜时产生的图像中心的偏移。

        在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品,与各种观察单元组合,可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。
        观察方法的切换非常简单,只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。

实现对人和环境都没有危害的自动化

        符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有关安全的基准),S8-0705(有关人体工程学的基准)和CE标识(欧洲强制性认证)等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等,高水准的确保了可靠性。

        备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号,或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。

       
 

        倾斜观察筒倾斜角/光路分割

       

全自动半导体检查显微镜 MX61A 规格

光学系统 UIS2光学系统(无限远校正)
机身 观察方法   明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
  反射/透射   反射
  照明装置   机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
  照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
    透射照明 -
  对焦单元 电动/手动 电动
    行程 25.4 mm
    分辨率/微调灵敏度 分辨率0.01 μm
    zui大样本高度 24 mm
  物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
    手动式 -
载物台 行程   14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm
观察筒 广角视场(视场数22) 倒置 -
    正像 -
  超宽视场(视场数26.5) 倒置 -
    正像 倾斜三目观察筒
附件单元 自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 711(W)×853(D)×552(H)mm(标准组合)
重量 56 kg(标准组合)

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