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自动晶圆搬送机

产品时间:2017-07-04

简要描述:

自动晶圆搬送机AL110

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● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)

● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)

● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性

● 灵活的程式设计,zui短的搬送时间极大的提高了生产效率

● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)

多种规格可选

        可以按照晶圆尺寸选择的两种型号:除了200 mm专用、200 mm/150 mm兼用的AL110-8系列之外,又推出了只要改变单元就能对应150 mm、125 mm和100 mm尺寸的AL110-6系列。非接触式搬运装置可以搬运小直径晶圆。AL110-6系列还可以个别对应50 mm、75 mm的晶圆搬运(非接触式搬运不可)。

缩短制程时间,实现快速检查

        使用非接触式搬运装置和透视型传感器检测晶圆的晶向定位(凹槽),缩短了晶圆的交换时间,从而缩短了搬运时间。

进一步提高清洁度

        为了尽量减少设备与晶圆的接触,采用了高精度的非接触式搬运机构。此外,在操作面板和宏观功能的手柄盖等处使用了不锈钢,防止了搬运、操作时灰尘的附着,极大程度的提高了清洁度。

电动载物台安全搬运晶圆

        组合了可以与自动晶圆搬送机联动操作的电动载物台MS200,实现了载物台的简易化。

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