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小型激光干涉仪

产品时间:2017-07-07

简要描述:

使用在生产制造显微镜·光学拾波等过程中培育的小口径测量技术,开发而来的使用简单小型干涉仪。

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小型·操作简便
  充分考虑作业现场内的使用环境,占地空间小,方便操作。

可测量倍率(1×、2.5×)
  测定倍率扩大到2.5×,可简单测量小件物体。与Φ60-Φ15(可选件)的孔径转换器组合匹配使用的话,可zui大扩大10倍。(平面测定时)

参照镜片λ/20 高精度
  因为本社加工技术,参照镜为λ/20高精度镜片。根据客户选择的需要,也可提供λ/30 的产品。

丰富的附属备件群
  我社准备了丰富的附属备件。如使用干涉条纹解析装置(KIF-FSPC/FS2000),可进行高精度条纹解析。

主要用途:
· 镜片研磨面的面精度的测定。
· 塑料成型件的面精度的测定。
· 各种金属切削面的面精度的测定。 

规格:  

测定方法 斐佐型干涉方式
口径 Φ60(使用可选件为Φ6-Φ102)mm
被检物大小 Φ6-Φ102(平面测定时)mm
倍率 1×、2.5×(本体2 段切换)
4×、10×(使用Φ60-Φ15的孔径转换器时)
参照面精度 λ/20(球面以及平面)
光源 He-Ne(632.8nm)激光
电源 AC100V 50/60Hz
本体外形尺寸 220(W)×360(D)×740(H)mm
本体重量 约33kg
标准附属品 9型TV显示器、5轴调整受台
* 特殊定单,我社可对应15Omm冲程延长样式。
各参照镜可测量范围(表示KIF-202L标准规格样式时的可测定范围) 
参照镜                检查可能曲率半径                              检查可能zui大口径                             
FNO zui终 R R/D
0.6 16.8 0.65 1~16 1~295 24.6 200
0.7 26.2 0.75 2~26 2~298 34.6 200
1.0 45.5 1.02 2~45 3~283 44.1 200
1.5 75.2 1.51 2~75 2~251 49.7 166.2
2.0 105.0 2.0 2~105 2~220 52.5 110
3.0 163.8 3.0 2~163 2~159 54.3 53
6.0 347.6 6.0 16~347 - 57.8 -
※凹面侧的测定可能曲率半径将会根据定盘的大小、干涉仪的设置方向(纵横)等机械的尺寸、以及线性卡尺、解析装置的安装而不同。
●如必须测定曲率半径在R2以下的场合,我社可以提供更加适合的规格,请与我社。
各标准规格参照镜的可测定范围
KIF-202L (标准规格)样式时的测定可能范围(mm) 
参照镜     KIF-202L(标准规格样式)
型号 zui终R R/D 测定可能曲率半径       测定可能zui大口径      
      干扰条纹扫描机组无                    干扰条纹扫描机组有                  干扰条纹扫描机组无                    干扰条纹扫描机组有                   
      凸 
F0.6 16.8 0.65 1~16 1~295 1~16 1~205 24.6 200 24.6 200
F0.7 26.2 0.75 2~26 2~298 2~26 2~208 34.6 200 34.6 200
F1.0 45.5 1.02 2~45 2~283 2~45 2~193 44.1 200 44.1 189.2
F1.5 75.2 1.51 2~75 2~251 2~75 2~161 49.7 166.2 49.7 106.6
F2.0 105.0 2.0 2~105 2~220 2~105 2~130 52.5 110 52.5 65
F3.0 163.8 3.0 2~163 2~159 2~163 2~69 54.3 53 54.3 23
F6.0 347.6 6.0 16~347 - 106~347 - 57.8 - 57.8 -

表示被检物的厚度为零时的数值。
各特别规格参照镜的测定可能范围(受注生产品)
*本社准备了2 英寸的特别规格参照镜,可用于较大曲率半径的测定。
*凹镜片测定用(发散型)样式有4 种,凸镜片测定用(集光型)样式有3 种。可供您随意选择。
KIF-202L (标准规格)样式时的测定可能范围(mm) 

特别规格参照镜     KIF-202L(标准规格样式)
型号 zui终R     R/D     测定可能曲率半径       测定可能zui大口径                                       
      干扰条纹扫描机组无   干扰条纹扫描机组有   干扰条纹扫描机组无   干扰条纹扫描机组有  
      凸      
RS60-C150 -150.3 1.93 - 160~464 - 160~370 - 200 - 191.7
RS60-C300 -300.1 4.62 - 310~626 - 310~530 - 135.4 - 114.7
RS60-C390 -389.3 6.03 - 400~715 - 400~620 - 118.5 - 102.8
RS60-C490 -482.9 7.54 - 495~806 - 495~711 - 106.8 - 94.2
RS60-V520 519.1 8.85 193~509 - 290~509 - 57.5 - 57.5 -
RS60-V670 664.1 11.56 338~654 - 433~654 - 56.5 - 56.5 -
RS60-V750 750.3 13.08 426~740 - 521~740 - 56.5 - 56.5 -

表示被检物的厚度为零时的数值。
KIF-202LL(长距离:150mm冲程延长规格)样式时的测定可能范围(mm) 

特别规格参照镜     KIF-202LL(长距离:150mm 冲程延长规格)样式
型号 zui终R R/D 测定可能曲率半径       测定可能zui大口径      
      干扰条纹扫描机组无   干扰条纹扫描机组有   干扰条纹扫描机组无   干扰条纹扫描机组有  
      凸      
RS60-C150 -150.3 1.93 - 160~614 - 160~520 - 200 - 200
RS60-C300 -300.1 4.62 - 310~776 - 310~680 - 167.9 - 147.1
RS60-C390 -389.3 6.03 - 400~865 - 400~770 - 143.4 - 127.6
RS60-C490 -482.9 7.54 - 495~956 - 495~861 - 126.7 - 114.1
RS60-V520 519.1 8.85 43~509 - 140~509 - 57.5 - 57.5 -
RS60-V670 664.1 11.56 188~654 - 283~654 - 56.5 - 56.5 -
RS60-V750 750.3 13.08 276~740 - 371~740 - 56.5 - 56.5 -

表示被检物的厚度为零时的数值。
注明:测定可能zui大曲率半径以及测定可能zui大口径,将会根据干涉仪的受台夹具等机械尺寸、被检镜片的大小以及减振板、线性卡尺等的安装而改变。但是归根结底因为目视,故不能保证。

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