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干涉条纹解析软件

产品时间:2017-07-07

简要描述:

安装在KIF-202/KIF-402系列干涉仪上,通过条纹扫描方式取得被测物的波面相位并显示且保存测定结果的干涉条纹解析系统。Z适合用于品质保证以及生产现场中对平面以及球面的面精度进行定量评价。

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省空间
采用我社开发的压电控制器和笔记本电脑,大大节省了空间。

测定速度的提升
改善了图像数据的读取以及解析算法,加快了测定的速度。

可自动校准
配上3轴压电受台(选件),可实现干涉仪条纹设为0条纹的校准作业的自动化,可提高作业效率(球面测定时)。

解析软件的高机能化
更新为以自动校准机能为中心的解析软件,可对应更精细的需求。

数码变焦机能
用数码变焦可在1倍到3倍以每0.1的倍率设定,微小机件的确认也变得简单了。

2D、3D彩色图像显示
通过2D彩图的显示可确认波面相位以及横切面的形状。3D图像更能直观地显示波面的相位。

合格与否的判定机能
设定规格值,在生产线上可简单地进行合格与否的判定。而且可设定与客户定义像差相对应的规格值。

可定制画面
具有保存、读取画面排版状态的机能,可设定适合使用场所以及产品的排版。

主要用途:
· 评价镜片、平面光学部品研磨面的面精度
· 评价镜片、平面光学部品透过波面的定量
· 评价反射镜、硬盘、晶片、磁头等金属面的面精度评价 

规格 

解析方式 条纹扫描方式
测定条纹条件 正弦波状强度分布的干涉条纹
(不可进行多重干涉的干涉条纹解析)
干涉条纹显示图像尺寸 640×470(像素)
再现性 PV值:0.01λ(2δ)以下、
RMS值:0.003λ(2δ)以下
解析机能 PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系数的解析与显示
合格与否的判定 PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的规格值设定与合格与否的显示
3轴压电受台冲程(选件) 粗动:±3mm(XYZ的各轴)
微动:12μm(XYZ的各轴)
使用环境 水平无震动的场所
(地面震动±0.8/S2)以下
温度:23± 3℃
湿度:60%以下,无凝露

· 因测定时的设置环境不同,会发生机械性能不能充分发挥的时候,敬请原谅!
· 本装置不保证Traceability体系中的绝对精度。 

主画面
解析结果以2维图表以及3维鸟瞰图表示。在2维图表中可显示横切面的形状。而且各像差以及Zernike系数将以数值形式显示。如有设定规格值时,将会显示柱型统计图以及合格与否(○/×)。可在菜单中进行各种设定、数据的保存以及读取。
<解析结果显示技能>
· P-V、RMS、Pwr
· 赛德尔像差Tilt、Focus、像差AS、慧差Coma、球差Sa3
· 3维鸟瞰图、2维彩图
· 横切面侧面像(X、Y方向、PV、RMS)
· 合格与否判定结果
<文件输入输出机能>
· 工作参数的保存与读取
· 条纹数据的保存与读取
· 测定区域的保存和读取
· 画面版面的保存与读取
· 主窗口打印

测定结果保存
测定结果可作为条纹数据保存于文档中。且左右画面可作为文本形式复制至剪贴板,可粘贴到表计算软件。

测量区域设定画面
可同时设定四角形、圆形、多角形的多个测量区域。在不进行特殊形状设定时,亦可令程序按百分比自动圈划区域。
<测量区域机能>
· 特殊形状区域设定(四角形、圆形、多角形、自动圈划区域)
· 自动圈划设定

工作参数设定画面
可设定产品名等的属性,波长选择、Fitting次数选择、像差清除设定、表示单位选择、对Zernike系数的offset的设定、规格值设定、用户定义像差设定等的设定。
<工作参数设定机能>
· 产品名、单位名、注释
· Fitting次数(3/4/9/16/25/36)
· 像差清除(像差指定/Zernike系数指定)
· 显示单位(λ、μm、nm、条纹)
· 对Zernike系数的offset设定
· 规格值(指定各像差以及用户定义式)

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