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MX61L/MX61半导体检测显微镜

产品时间:2019-11-19

简要描述:

MX61L/MX61半导体检测显微镜配备了PC界面,可以读取显微镜的电动功能。因此,捕获影像时可以自动保存物镜倍率,为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

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MX61L/MX61半导体检测显微镜软件方案

实现数字成像

MX61L配备了PC界面,可以读取显微镜的电动功能。因此,捕获影像时可以自动保存物镜倍率,为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

支持缺陷检测的多种功能

快速切换物镜,提高检查速度

电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

变换物镜,孔径光阑(AS)也随之调节

AS自动调节示意图
AS自动调节示意图

每次变换物镜时都需要调节孔径光阑(AS)的话,会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),只要切换物镜就能以zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

帮助实现多种观察的附件

安全快速的搬运晶圆

自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合
自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合

MX61L能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

近红外线观察单元
近红外线观察单元

粘合衬垫
粘合衬垫

荧光观察单元

MX61L/MX61半导体检测显微镜在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

荧光镜单元
荧光镜单元

荧光观察
荧光观察

透射照明单元

透射照明单元
透射照明单元

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