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测量显微镜STM7

产品时间:2019-11-21

简要描述:

测量显微镜STM7由于测量物镜具有非常长的工作距离,因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候,无需担心物镜与样品之间发生接触。此外,借助测量物镜的低倍率能力,可以一次观察到较大的视场。

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STM7测量显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
[常见问题] 
? 短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
? 目前为止,大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程,但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程,这样的做法费事费时,效率不高。
? 由于可测量的范围窄,无法将数量较多的样品排列在载物台上,以实现一次性同时测量。
[STM7解决方案]
 共有四种独特的正方形测量行程的载物台可供选用,分别为:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品,总有一款载物台会适合您要测量的样品。
? 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后,载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动,并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程,这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量,比如300 mm的晶圆和印刷电路板。


STM7-CS50 
50mm x 50mm

STM7-CS100
100mm x 100mm

STM7-CS200
200 mm x 200 mm

STM7-CS300
300 mm x 300 mm

使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]
大部分传统的测量显微镜只可以专用测量物镜或专用金相物镜,无法同时满足多种观察要求。
解决方案
可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜,而更换为物镜转盘后,便可使用金相物镜。这意味着, STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式,无论是测量大型样品还是精细样品,或是表面高度差异大的样品,STM7系列都可以对应并协助用户选择zui佳的观察方法。
测量物镜
由于测量物镜具有非常长的工作距离,因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候,无需担心物镜与样品之间发生接触。此外,借助测量物镜的低倍率能力,可以一次观察到较大的视场。

金相物镜
可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是,在明场观察之外还可以对应暗场,偏光和微分干涉观察。


明场图像

暗场图像

手动和电动调焦模式的选择
STM7显微镜系列包括手动调焦和电动调焦两个系列
对于Z轴的上下调焦,有手动型和电动型两种系列供您选择。请根据样品和测量内容选择符合您需求的机型,而不需要考虑载
物台的尺寸。所有的镜架均内置Z轴线性标尺,各种型号STM7都可以对应3轴测量。


手动Z轴调焦机型
手动Z轴调焦机型提供了卓越的成本效益——通过操作被广泛使用的调焦旋钮,可以快速的上下移动Z轴。为测量具有各种高度样品的用户提供了方便。

电动Z轴调焦机型
使用电动调焦装置可以大幅提高操作性,并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。粗微调焦的同轴旋钮设计使使用者可以以习惯的类似手动的方式进行操作,同时电动机型还可以配备自动聚焦单元。

一个具有突破性设计的控制单元大幅提升了测量显微镜的操作性

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