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Olympus工业检测显微镜

产品时间:2019-11-21

简要描述:

Olympus工业检测显微镜能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

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Olympus工业检测显微镜规格

光学系统 UIS2光学系统(无限远校正)
机身 观察方法   明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
  反射/透射   反射/透射
  照明装置   机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
  照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
    透射照明 纤维光导
  对焦单元 电动/手动 手动
    行程 32 mm
    分辨率/微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm
    zui大样本高度 30 mm
  物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉5孔 
明暗视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉中心输出5孔
    手动式 -
载物台 行程   8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范围189×189 mm) 
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm
观察筒 广角视场(视场数22) 倒置 双目/三目观察筒
    正像 三目观察筒
  超宽视场(视场数26.5) 倒置 三目观察筒
    正像 倾斜三目观察筒
附件单元 DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 509(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
重量 40 kg(标准组合)

观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

  为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150 mm,SEMI S8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。

安全快速的搬运晶圆

  MX61能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

 快速切换物镜,提高检查速度

  电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

变换物镜,亮度光圈(AS)也随之调节

  每次变换物镜时都需要调节亮度光圈(AS)的话,会影响检查速度。MX61对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),只要切换物镜就能以zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

  对应300 mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284 mm)。另外,内置离合器的载物台夹子,可切换粗调和细调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。

Olympus工业检测显微镜使用数码照相机记录和保存数码影像

  三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。


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