供应中心您现在的位置: 首页 > 供应中心 > 全自动半导体检查显微镜

全自动半导体检查显微镜

产品时间:2019-11-21

简要描述:

全自动半导体检查显微镜只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的zui合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。$r$n$r$n

在线咨询

全自动半导体检查显微镜 MX61A 规格

 

光学系统 UIS2光学系统(无限远校正)
机身 观察方法   明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
  反射/透射   反射
  照明装置   机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
  照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
    透射照明 -
  对焦单元 电动/手动 电动
    行程 25.4 mm
    分辨率/微调灵敏度 分辨率0.01 μm
    zui大样本高度 24 mm
  物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉5孔 
明暗视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉中心输出5孔
    手动式 -
载物台 行程   14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm 
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm
观察筒 广角视场(视场数22) 倒置 -
    正像 -
  超宽视场(视场数26.5) 倒置 -
    正像 倾斜三目观察筒
附件单元 自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 711(W)×853(D)×552(H)mm(标准组合)
重量  
56 kg(标准组合)

奥林巴斯全自动半导体检查显微镜MX61A支持300mm硅晶圆检查及分析。实现了显微镜观察中所需操作的自动化及电动化,具有使用1台显微镜即可进行检查及分析的灵活性和扩展性。MX61A采用zui新的UIS 2万能无限远光学系统,提高了缺陷检测能力。高品质的UIS 2物镜实现忠实的色彩再现,暗视野观察时的亮度也提高至该公司原产品的4倍左右。通过采用新方式的自动对焦;(AF)实现了检查及分析作业的效率化。配备有与物镜的倍率指定和观察方法切换产生联动的、用于调节出zui佳亮度及对比度的自动调光功能。此外,AF方面采用了对焦精度及速度更出色的多点对焦方式,从而提高了对焦时的稳定性。具有电动载物台、数码相机及深紫外线观察系统等多种扩展性系统配置。

对应检查需求的搭配组合

  灵活地应对不断变化的检查需求,这就是检查引擎(Inspection-Engine)。
  作为核心对MX61A系统全体进行控制的是操作单元。预先设置的观察条件可由操作员(观察者)随时调用,也可以多人共享。可以选择适应了使用环境的菜单的操作单元和对应各种观察方法的自动对焦单元,提供了更高水准的检查环境。

 

适应使用环境、可以分开使用的操作单元

  操作单元备有三个操作画面,观察者高效率的操作显微镜。

  ·网罗观察的基本操作的“OPERATOR(操作员)”画面 
  ·更高级操作的“ENGINEER(工程师)”画面 
  ·zui多可设置六个观察条件,可随时调用复杂条件设置的“FUNCTION(功能)”画面

 

 

  与物镜选择、观察方法切换连动的亮度光圈(AS),以及物镜之间的同一焦点校正、DIC延迟调节等均可通过操作单元触摸面板进行设置。操作单元有三个“USER(用户)”设置,可由多位操作员(观察者)共享。

可以触摸屏操作的手控开关
  配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的zui合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。


联系方式
  • 电话

    86-010-51295688

  • 传真

    86-010-51295688

在线客服