供应中心您现在的位置: 首页 > 供应中心 > 正立金相显微镜

正立金相显微镜

产品时间:2019-11-18

简要描述:

正立金相显微镜用户可以观测到比光学显微镜分辨极限更小的、8 nm 级的微小划痕和缺陷。暗视场适合检测样本上的微小划痕及瑕疵和检查表面光滑的样本,包括晶圆。

在线咨询

正立金相显微镜拍摄您所需的图像

暗视场观察法

Darkfield
表面安装板

暗视场可以让用户观察来自样本散射和衍射的光线。光源的光线会先穿过照明装置中的环形光学照明器件,然后在样本上聚焦。样本上的光线只是由Z 轴上的瑕疵反射形成的。因此,用户可以观测到比光学显微镜分辨极限更小的、8 nm 级的微小划痕和缺陷。暗视场适合检测样本上的微小划痕及瑕疵和检查表面光滑的样本,包括晶圆。

偏振光观察法

Polarized Light
石棉

该显微观察技术所使用的偏振光是由一组滤镜(检偏振器和起偏振器)产生的。样本特征会直接影响系统反射光的强度。该观察法适用于观察金相组织(例,球墨铸铁中石墨的生长图案)、矿物、LCD 和半导体材料。

微分干涉(DIC)观察法

Differential Interference Contrast (DIC)
磁头

DIC 是一种显微观察技术,可以将明视场观察法中无法检测到的高度差异,用增强的对比度以浮雕或三维图像的形式表现出来。该项基于偏振光的技术,拥有三个专门设计的棱镜可供选择以满足用户的需求。该观察法适用于检测高度差异极其微小的样本,包括金相组织、矿物、磁头研磨面和硬盘表面及晶圆研磨面。

荧光观察法

Fluorescence
半导体晶圆上的颗粒 

该项技术适用于观察那些在受到专门设计的滤镜(可以按照检测需要制作)照明时会发出荧光(发出不同波长的光线)的样本。该方法通过荧光染色,应用于观测半导体晶圆表面的污物、抗蚀剂的残渣和裂痕的检测。可以添加选购的复消色差光源聚光透镜系统,从而为可见光到近红外线范围内的色差进行补偿。

IR(红外线)观察法

Infra-Red (IR)

正立金相显微镜技术规格:

BX61

BX51

BX51M

BX41M-LED

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

机身

照明装置

反射/透射

反射

反射(对应ESD功能)

外置12 V 100 W光源 
光量预调开关 
LED电压指示 
反射/透射光转换开关

内装12 V 100 W光源 
光量预调开关 
LED电压指示 
反射/透射光转换开关

内装12 V 100 W光源 
光量预调开关 
LED电压指示

内装3 W白色LED光源 
光量预调开关

对焦单元

电动调焦 
行程25 mm 
zui小刻度单位为0.01 μm

行程25 mm 
微调旋钮1圈的微调行程为100 μm 
zui小刻度单位为1 μm 
可设聚焦粗调上限停止位置,粗调旋钮张力可调

zui大标本高度

25 mm(不包含臂长调节器)

65 mm(不包含臂长调节器)

观察筒

广角视场 
(视场数为22)

倒置∶双目镜筒、三目镜筒、倾斜式双目镜筒 
正象∶三目镜筒、倾斜式双目镜筒

超宽视场 
(视场数为26.5)

倒置∶三目镜筒 
正象∶三目镜筒、倾斜式三目镜筒

反射光
照明装置

明视场等

BX-RLAA 
电动明/暗视场转换 
电动孔径光阑

BX-RLA2 
100 W卤素灯(可装高亮度光源、光纤照明装置) 
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光 
视场光阑和孔径光阑(带中心输出机构)、明/暗视场法连动的ND滤镜

BX-AKMA-LED/BX-KMA-LED 
3 W白色LED照明 
明视场/微分干涉/简易偏振光 
对应ESD功能 
仅BX-AKMA-LED具有的功能: 
斜射照明装置 
AS(带中心输出机构) 
斜射照明的位置设置

反射光 
荧光

BX-RFAA 
电动六孔转盘 
内置电动光闸 
备有视场光阑和孔径光阑

BX-URA2 
100 W汞灯、75 W氙气灯 
六孔分光镜组件(标准∶WB、WG、WU+BF等) 
备有视场光阑和孔径光阑(带中心输出机构)及光闸机构

透射光照明装置

100 W卤素灯 
阿贝聚光镜/长工作距离聚光镜 
内置透射光滤镜(LBD、ND25、ND6)

-

物镜转换器

明视场用

电动六孔

六孔、中心输出六孔、七孔(电动物镜转换器选购件)

五孔、六孔(对应ESD功能)、七孔

明/暗视场用

电动五孔、电动六孔、中心输出五孔

五孔、中心输出五孔、六孔(电动物镜转换器选购件)

-

载物台

带左手(右手)用同轴驱动旋钮的载物台:76 (X) × 52 (Y) mm,张力可调 
带左手(右手)用同轴驱动旋钮的大型载物台:100 (X) × 105 (Y) mm,附设Y轴锁定机构

ESD性能

-

表面电阻108Ω以下,放电时间少于0.2秒*

外形尺寸

约318(宽) × 602(长)× 541(高) mm

约318(宽) × 602(长) × 480(高)mm

约318(宽) × 602(长) × 480(高)mm

约283(宽) × 455(长) × 480(高)mm

重量

约25.5 kg 
(机身约重11.4 kg)

约20.8 kg 
(机身约重10.3 kg)

约19.5 kg 
(机身约重9.8 kg)

约14 kg 
(机身约重6.7 kg)

联系方式
  • 电话

    86-010-51295688

  • 传真

    86-010-51295688

在线客服