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LEXT OLS4500原子力显微镜

产品时间:2019-11-18

简要描述:

LEXT OLS4500原子力显微镜配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。

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LEXT OLS4500原子力显微镜技术规格

LSM部分 光源、检出系统     光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管
  总倍率     108~17,280X
  变焦     光学变焦:1~8X
  测量 平面测量 重复性 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm
      正确性 测量值的±2%以内
    高度测量 方式 物镜转换器上下驱动方式
      行程 10mm
      内置比例尺 0.8nm
      移动分辨率 10nm
      显示分辨率 1nm
      重复性 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm
      正确性 0.2 L/100 μm以下(L=测量长度)
  彩色观察部分 光源、检出系统   光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD
    变焦   码变焦:1~8X
  物镜转换器     6孔电动物镜转换器
  微分干涉单元     微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元
  物镜     明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X
  Z对焦部分行程     76 mm
  XY载物台     100 x 100 mm(电动载物台)
SPM部分 运行模式     接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*
  位移检出系统     光杠杆法
  光源     659 nm半导体激光
  检出设备     光电检测器
  zui大扫描范围     X-Y:zui大 30 μm x 30 μm、Z:zui大 4.6 μm
  安装微悬臂     在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。
系统 总重量     约440 kg(不包含电脑桌)
  I额定输入     100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz

*该功能为选项功能。


LEXT OLS4500原子力显微镜物镜 规格

型号 倍率 视场 工作距离(W.D.) 数值孔径(N.A.)
MPLFLN5X 108-864X 2,560-320μm 20.0mm 0.15
MPLAPON20XLEXT 432-3,456X 640-80μm 1.0mm 0.60
MPLAPON50XLEXT 1,080-8,640X 256-32μm 0.35mm 0.95
MPLAPON100XLEXT 2,160-17,280X 128-16μm 0.35mm 0.95


微悬臂 规格

用途 型号 类型 探针数量 微悬臂 探针 材质 金属膜 
涂层
共振频率 
(kHz)
弹簧常数 
(N/m)
高度 
(μm)
前端半径 
(nm)
探针/ 
微悬臂
探针涂层/ 
反射涂层
动态模式/ 
相位模式
OMCL-AC160TS-C3 标准硅胶 24 300 26 14 7 Si / Si 无 / Al
OMCL-AC240TS-C3 低弹簧常数硅胶 24 70 2 14 7 Si / Si 无/Al
接触模式 OMCL-TR800PSA-1 标准氮化硅 34 73 / 24 0.57 / 0.15 2.9 15 SiN / SiN 无/Au
表面电位模式 OMCL-AC240TM-B3 电气测量专用硅胶 18 70 2 14 15 Si / Si  
Pt/Al

【纳米级测量】简单操作,可以迅速获得测量结果

新开发的小型SPM测头, 减少了影像瑕疵

Newly Developed SPM Head with Reduced Noise
新开发的小型SPM测头

OLS4500采用了装在电动物镜转换器上的物镜型SPM测头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端,所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。不仅如此,新开发的小型SPM测头提高了刚性,所以与传统产品相比,减少了影像瑕疵并提高了可追踪性。

使用向导功能,自由放大SPM影像

使用向导功能, 可以观察时进一步放大探针显微镜拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠标指针设置放大范围并扫描, 就可以获取所需的SPM影像。可以自由设置扫描范围, 所以大幅度提高了观察和测量的效率。

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